안녕하세요!오늘은 6주차 진행된 반도체 계측 공정 및 장비 이론입니다. 🙊 지난 주까지가 "공정을 어떻게 모듈로 묶어 소자를 만드는가"였다면,이번 주는 만들어진 소자가 제대로 만들어졌는지 어떻게 확인하는가를 다뤘습니다. 검사·계측의 개념부터 FA(불량 분석), 통계적 품질 관리, CD/막두께/표면 측정, APC·FDC, 그리고 최신 3D NAND 계측 동향까지 폭넓게 학습했습니다! 1. 반도체 계측 공정의 개요 2. 반도체 분석과 계측 이론 3. 계측 데이터와 반도체 공정의 상관성 4. 접촉식 vs 비접촉식 계측 방법 5. 전기적·물리적·화학적 특성 측정 원리 6. Critical Dimension 측정 이론과 장비 7. 막 두께 및 굴절률 측정 장비 8. 표면 거칠기 및 형상 측정 9. 계측 장..